Программное обеспечение EPXA состоит из основной программы, обеспечивающей пользовательский интерфейс, и разнообразных машинных функции входа/выхода, а также нескольких библиотек DLL, которые обеспечивают обработку спектров и ZAF-вычисления спектра taken on a SEM fitted with an EDS detector.

ПО работает на обычном ПК на платформе Windows. Полный ZAF анализ возможен, по стандартам или без них, благодаря внутренним базам данных фундаментальных параметров, таких как коэффициент абсорбции, выход флуоресценции, вероятности перехода и др. Также имеется модуль отображения спектров.

Программа может анализировать сложные составные материалы или однослойные тонкопленочные материалы. При использовании стандартов толщина должна быть определена или результаты не должны быть нормализованы.

Программа может анализировать до 40 элементов как индивидуальных, так и в составе материалов.

Интерфейс программы EXPA

Модуль Spectra-X отображает полученный или обрабатываемый спектр. Можно сравнить до 8 спектров. Возможно установление маркеров для пиков и различные инструменты для добавления текста или линий.